摘要：研究了在玻璃基底上采用不同厚度的铬膜作过渡层，对银膜的光学性质及其附着力的影响。光谱测量结果表明，随着铬膜层厚度的增加，银膜的反射率先增大后减小。与直接镀在玻璃基底上的银膜的反射率相比，铬膜层厚度为8～14nm时，银膜的反射率较低；铬膜层厚度为17～21nm时，银膜的反射率得到提高，其中铬膜厚度为17nm时，银膜的反射率最高；继续增加铬膜层的厚度，银膜的反射率又降低，说明采用一定厚度的铬膜作过渡层可以提高银膜的反射率。X射线衍射（XRD）结构分析表明，一定厚度的铬膜改善了银膜的结晶程度，使薄膜的晶粒度增大，晶界散射及缺陷减少，从而使应变减小。剥落实验证明薄膜与玻璃基底之间的附着力也得到了提高。

关键词：薄膜 银膜 微结构 光学性质 附着力 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所; 上海201800; 中国科学院研究生院; 北京100039