摘要：提出一种新型光束质量实时测量技术，该技术主要基于由平板反射镜组成的多平面成像系统，一次性将激光束腰附近2倍瑞利距离内的多个光斑成像在同一个平面上，用CCD相机获取这些光斑的光强分布图样。通过图像处理获知接收到的光斑的光强分布。采用远场发散角、焦点尺寸、桶中功率比和M2因子四种光束质量评价标准对激光光束质量进行评价。利用该方法实时测量了高能钕玻璃双板条激光器的输出光束。

关键词：测量 激光物理 激光光束质量 多平面成像 束腰 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所; 上海201800