摘要：利用CCD成像技术,设计出一种简单的测量垂直腔面发射激光器（VCSEL）的光束质量因子M^2的方法。在注入电流分别为900mA,1500mA,3000mA和6000mA时,对出光孔径300μm,激射波长为980nm的垂直腔底面发射激光器的束腰等光束参数进行了测量,并应用激光光束传播的高斯方程拟合求得了M^2因子的值分别为66,58,44和53。另外,当注入电流为900mA和3000mA时,对器件的远场分布进行了分析并测得了器件的远场发散角,测量值与理论计算值吻合较好。

关键词：激光器 垂直腔面发射激光器 光束质量因子 远场发散角 注入电流 

单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所激发态物理重点实验室; 吉林长春130033; 中国科学院研究生院; 北京100039; 中国科学院长春光学精密机械与物理研究所; 吉林长春130033; 中国科学院物理研究所; 北京100080