摘要：研究了利特罗（Littrow）结构外腔半导体激光器的结构参量对激光连续可调范围的影响。给出了反射镜转轴等处的机械加工误差对激光波长连续可调范围所造成的影响的数值计算结果。介绍了半导体激光器外腔结构设计的具体细节要点。利用该设计制作的外腔只需要配合商用半导体激光管便可以得到优质的780nm激光输出，经测量其线宽小于1MHz，连续可调谐范围大于3GHz。利用腔外Rb饱和吸收谱的三、五次谐波稳频方法对半导体激光器进行了稳频。其中提出了优化激光频率短期稳定度的方法，并对调制深度的选择给出了详细的理论解释。根据该优化方法设计出稳频系统对半导体激光器进行稳频，得到了稳定度达到10^-12量级的半导体激光输出。

关键词：激光技术 光栅外腔半导体激光器 高次谐波稳频 

单位：北京大学信息科学技术学院; 北京100871