摘要：在正弦相位调制（SPM）干涉仪中，若调制频率或者采样频率发生变化将使干涉信号出现频谱泄漏，减小了谐波分量的幅值，在测量结果中引入了误差。对频谱泄漏的产生及其对测量精度的影响进行了理论分析，获得了频谱泄漏引入测量误差的计算方法。实验测得频率漂移量在-0．3～0．3Hz内，得到的频谱泄漏引入的误差为0．3～7．9nm，当超出这个范围时，频谱泄漏误差将迅速增长。实验结果与模拟分析结果一致。

关键词：测量 正弦相位调制干涉仪 频谱泄漏 离散傅里叶变换 测量精度 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所; 上海201800; 中国科学院研究生院; 北京100039