摘要：利用氟化氪（KrF）脉冲准分子激光烧蚀沉积（PLD）技术，通过对激光等离子体的粒子成分以及空间分布的诊断，实现了等离子体成分的选择性沉积。在不降低光谱范围和透过率指标的前提下，解决了类金刚石（DLC）薄膜和硫化锌（ZnS）基底的牢固结合问题；通过改进基底平台的扫描方式，在激光烧蚀沉积工艺中沉积了φ80 mm的大面积均匀类金刚石薄膜。制备的类金刚石／ZnS镀膜样品，光谱范围为0．53～12μm，其中1．3～11μm波段透过率在70％以上，膜层均匀性优于95％，可耐受环境湿度95％～100％，工作温度-45～85℃，附着力达到国军标要求。研究表明，利用类金刚石薄膜可以明显提高ZnS材料的耐冲击、耐高温、耐辐射和抗沙粒、盐、雾和尘埃的磨损侵蚀等能力。

关键词：薄膜 类金刚石薄膜 脉冲准分子激光沉积 

单位：西北核技术研究所; 陕西西安710024