摘要：选择性氧化工艺已经成为制备高性能垂直腔面发射激光器（VCSEL）的关键技术,氧化后形成的氧化层提供了良好的电限制和折射率导引,但选择性氧化速率是呈线性规律还是抛物线规律仍存在很大的争议。在多种温度条件下,做了环形沟槽和环形分布孔的氧化实验,这是在垂直腔面发射激光器中采用的两种结构。实验结果表明,氧化窗口形状对氧化速率的影响也依赖温度条件,并对这种实验现象给出了定性解释。

关键词：激光技术 垂直腔面发射激光器 选择性氧化 氧化速率 环形分布孔结构 

单位：长春理工大学高功率半导体激光器国家重点实验室; 吉林长春130022