摘要：选用不锈钢、铜和铝三种金属薄膜作为实验材料,厚度10～50μm。对不锈钢、铜和铝三种金属薄膜进行飞秒激光加工,研究了所形成的微纳米孔直径与飞秒激光加工参数的关系。结果表明,飞秒激光加工的微孔直径随单脉冲能量和脉冲数的平方根的增大而增大。不锈钢薄膜适于飞秒激光制作金属微孔膜,在25μm厚的不锈钢薄膜上制备了大面积阵列微孔,孔直径为2.5～10μm,孔间距为10～50μm。与传统烧结金属微孔过滤膜比较,飞秒激光制备阵列微孔金属膜具有膜孔尺寸均匀一致、直通孔形、膜孔尺寸和间距可控等特点,可获得较高的孔隙率,有利于提高透过水通量。

关键词：激光技术 微纳加工 飞秒 金属膜 阵列孔 

单位：天津工业大学激光技术研究所; 天津300160; 南开大学现代光学研究所; 天津300071