摘要：为了获得拍瓦激光系统需要的大口径高破坏阈值光栅压缩器，用多块电介质膜光栅进行拼接是解决问题的有效方法。旋转偏差需要控制在1μrad内，才能避免拼接误差带来的时空特性影响，因此利用零级光和一级衍射光对旋转偏差进行独立监测，采用二次曲线拟合法对干涉条纹中心位置进行高精度测量，测量精度可达0．1pixel，检测到旋转偏差约0．5μrad；高精度的要求受调节机构和环境的限制，需实时监测调节来保持光栅姿态，将偏转量反馈给光栅调节装置保持拼接子光栅的位置，可长时间保持在0．5μrad偏差内。实验结果表明，光栅拼接旋转偏差实时监测调节能满足拼接高精度和长时间稳定的要求。

关键词：激光技术 大口径光栅 拼接光栅 实时调节 

单位：上海激光等离子体研究所; 上海201800