摘要：用热舟蒸发方法在不同的沉积速率下制备了LaF3单层膜，并对部分单层膜进行了真空退火。分别采用X射线衍射（XRD），Lambda 900光谱仪和355nm Nd：YAG脉冲激光测试了薄膜的晶体结构、透射光谱和激光损伤阈值（LIDT），并通过透射光谱计算得到样品的折射率和消光系数。实验结果表明，增大沉积速率有利于LaF3薄膜的结晶和择优生长，可以提高薄膜的致密性和折射率，但薄膜的抗激光损伤能力有所下降；沉积速率太大，又会恶化薄膜的结晶性能，同时薄膜中产生大量孔洞，薄膜的机械强度降低，导致薄膜的折射率减小和抗激光损伤能力降低。真空退火对薄膜的抗激光损伤能力有不同程度的提高。

关键词：薄膜 laf3单层膜 沉积速率 退火 折射率 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所; 上海201800; 中国科学院研究生院; 北京100039