摘要:设计并研制了一种多单元半导体激光器的高亮度光纤耦合输出模块。激光器芯片采用分子束外延(MBE)方法生长的宽波导、双量子阱结构AlGaAs/GaAs激光器外延材料,激光器模块采用4只准直的单条形大功率半导体激光器,器件腔长为2mm,发光区宽度为100gm,单条形器件的连续输出功率为5.0W,每两只单条形器件的准直输出光束经过空间合束后再通过偏振合束,实现了多单元器件输出的高光束质量功率合成,采用简单的平凸透镜实现了合束光束与100μm芯径、数值孔径(NA)0.22石英光纤的高效耦合,耦合效率高达79%,输出功率达10.17W,光纤端面功率密度达1.0×10^5W/cm^2。
关键词:激光技术 半导体激光器 光纤耦合 空间合束 偏振合束
单位:长春理工大学高功率半导体激光国家重点实验室; 吉林长春130022
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