摘要：光抽运垂直外腔面发射半导体激光器（VECSELs）综合了传统面发射半导体激光器和光抽运固体激光器的优点，既能获得近衍射极限的圆形TEM00模，又能产生数瓦量级甚至更高的功率，实现了高光束质量和高输出功率的完美统一。此外，垂直外腔面发射半导体激光器可利用成熟的量子阱能带工程来设计所需波长，并且类似固体激光器的外腔结构还可方便地进行腔内倍频和锁模运行，因而是一种新型实用的激光光源。

关键词：面发射半导体激光器 腔内倍频 光抽运 绿光激光器 腔面发射 

单位：北京工业大学应用数理学院; 北京100022; 中国科学院光电研究院光电系统工程研究部; 北京100085; 北京大学信息学院量子电子研究所; 北京100871