摘要：介绍了一种利用波长为800nm的飞秒激光脉冲在普通单模光纤（SMF）上刻蚀出微型光纤法布里一珀罗干涉（MEFPI）传感器的方法。该方法通过计算机控制就可以进行任意腔长的微型光纤法布里一珀罗干涉传感器的制作。实验研究了光纤法布里一珀罗传感器的应变和温度特性，结果表明，在0～350με的应变范围内，干涉条纹波长相对于应变的灵敏度为0．006nm／με，线性度达99．69％；在20～100℃的温度范围内，该光纤法布里一珀罗传感器具有较小的负温度特性，干涉条纹往短波方向漂移了0．15nm。作为全光纤传感器件，该类型传感器重复性高，成本低廉，易于批量加工，在光传感领域具有较大的潜在应用价值。

关键词：导波与光纤光学 光纤传感器 飞秒激光加工 光纤法布里一珀罗腔 

单位：重庆大学光电技术与系统教育部重点实验室; 重庆400044; 电子科技大学宽带光纤传输与通信网技术教育部重点实验室; 四川成都610054; 中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学技术国家重点实验室; 陕西西安710068