摘要：相干并束是获得高功率激光束的一种有效方法，特殊设计的二维正弦相位光栅是一种较好的并束元件。介绍了二维正弦相位光栅并束的设计方案，计算表明，在3×3和4×4分束时分束效率分别为81．1％和73．1％，与常用的达曼光栅相比分别提高37％和26．9％。对正弦相位光栅的制作和误差分析表明，并束效率存在极大值，给光栅的制作带来较大的误差宽容度，分束与并束在光栅表面的光场存在一定差别。如果仅用于并束，并束效率还有提高的可能。

关键词：激光技术 相干并束 正弦相位光栅 误差分析 

单位：四川大学物理科学与技术学院纳光子技术研究所 四川成都610064