摘要：采用微机械表面加工技术，成功设计并研制出具有GaAs基微光机电系统（MOEMS）悬臂梁结构的可调谐微腔发光二极管。对其工作特性进行了分析，测量得到悬臂梁载荷一位移关系曲线，并对微光机电系统悬臂梁可调谐微腔发光二极管进行调谐光谱测量。实验结果表明，在直流电流40mA，调谐电压范围4～22V时，波长从974．5nm蓝移至956．9nm，室温下波长调谐最大达到17．6nm。在实验基础上，采用有限元方法对具有分布布拉格反射镜（DBR）结构的悬臂梁动力学特性进行了研究，模拟结果与实验结果吻合较好。当悬臂梁长度为400弘m时，最大位移达到411nm，最大调谐电压达到24V。

关键词：光学器件 可调谐微腔光子器件 微光机电系统 悬臂梁 有限元 

单位：北京工业大学电子信息与控制工程学院 北京市光电子实验室 北京100022