摘要：报道一种快速调谐TEA CO2激光器。该激光器采取紧凑式Ernst电极,火花阵列放电紫外预电离方式,采用二维振镜扫描衍射光栅的方案实现了激光的调谐输出。激光器可输出谱线75支,其中55支谱线输出能量超过1 J,当激光器高重复频率运转时,10P（20）谱线基模能量大于300 mJ,脉冲宽度约为70 ns。这种激光器可以在10 ms内实现9.2～10.8μm范围内任意两条谱线的调谐输出。

关键词：激光器 teaco2激光器 二维扫描振镜 快调谐 

单位：哈尔滨工业大学光电子技术研究所 黑龙江哈尔滨150001