摘要：研究了利用波长为532 nm的激光二极管抽运全固态激光器（DPSSL）,采用双光束干涉手段,在镜面不锈钢表面直接刻蚀形成微光栅结构（MGS）的方法。通过实验,分析了激光功率、光束口径、双光束干涉角与光栅槽深和占宽比之间的关系。利用光学显微镜和原子力显微镜（AFM）对实验结果的检测分析表明,在激光功率为45 mW,双光束干涉角为20°的条件下,得到光栅周期为1.34μm,槽深为300 nm的最佳微光栅结构。同时,在适当激光功率下,增加光栅周期,增加光束口径都能提高光栅槽深。

关键词：激光技术 纳秒激光 微光栅结构 刻蚀 镜面不锈钢 

单位：苏州大学信息光学工程研究所 江苏苏州215006