摘要：液晶空间光调制器（LC-SLM）能实现光束动态偏转，而它的像素结构以及相位回卷方法造成的衍射效应使其光效率降低。通过数值仿真和实验分析了像素结构造成的衍射效应，给出了像素填充因子和衍射效率的关系。利用256pixel×256pixel的液晶空间光调制器构建动态光束偏转实验装置，使入射光束偏转不同角度时测量远场光斑强度，得到衍射效率随光束偏转角的变化关系。理论分析与实验结果表明，填充比越小，像素结构造成的衍射效应越强，衍射效率降低；当填充比为0．85时衍射效率的测量值仅为51．3％。相位回卷方法使液晶空间光调制器形成类似闪耀光栅结构，随着光束偏转角度的增大，衍射效率降低。

关键词：光学器件 液晶空间光调制器 光束偏转 衍射 

单位：中国科学院光电技术研究所 四川成都610209 中国科学院研究生院 北京100039