摘要：为了评价美国BNS公司反射式256pixel×256pixel纯相位液晶空间光调制器（LCSLM）的性能，提出利用泰曼-格林干涉仪对相位调制特性进行干涉测量。实验结果表明，液晶空间光调制器的相位随灰度呈非线性分布，利用反插值法建立线性查找表，校正了器件的非线性，非线性度由原来的17．23％减小到2．85％；中心与边缘的相位调制，在同一灰度级最大相位差达到0．22π，中心相位调制均方根误差是边缘的4倍，说明该器件存在相位调制的不均匀性，中心相位误差较大，在波前控制中应给予校正。

关键词：测量 空间光调制器 相位调制 

单位：哈尔滨工业大学超精密光电仪器工程研究所 黑龙江哈尔滨150080 哈尔滨理工大学机械动力工程学院 黑龙江哈尔滨150080