摘要：磨损是材料常见的表面失效现象，粗糙度是数字化描述材料磨损表面形貌特征的最常用参数。采用激光共聚焦显微镜（LSCM），通过调节物镜倍率、测量视场和过滤参数等，能够得到材料磨损表面的真实形貌，同时能够对磨损表面三维（3D）形貌特征进行精确数字化描述。对常见的粗糙度值0.5～2.0μm磨损表面采用20×物镜扫描测最比较合适；粗糙度小于0.5μm的磨损表面宜采用50×物镜；粗糙度大于2.5μm宜采用10×物镜。对比较规则的磨损表面。采用1～3个物镜视场叠加扫描即可得到比较精确的粗糙度值；对于不太规则的磨损表面，则需要3～5个物镜视场叠加扫描。借助这一手段，采用上述优化参数对Cr5冷轧辊材料磨损各阶段试样表面形貌及粗糙度轮廓曲线进行表征、分析，效果较好。

关键词：光学设计与制造 磨损 粗糙度 激光共聚焦显微镜 表面形貌 

单位：东北大学材料与冶金学院 辽宁沈阳110004 宝山钢铁有限公司研究院 上海201900