摘要：采用电子束蒸发（EBE）和离子束溅射（IBS）制备了不同的Ta2O5薄膜，同时对电子束蒸发制备的薄膜进行了退火处理。研究了制备的Ta2O5薄膜的光学性能、激光损伤阈值（LIDT）、吸收、散射、粗糙度、微缺陷密度和杂质含量。结果表明，退火可使电子束蒸发制备的薄膜的光学性能得到改善，接近离子束溅射的薄膜的光学性能。电子束蒸发制备的薄膜的损伤闽值较低的主要原因在于吸收大，微缺陷密度和杂质含量高，而与薄膜的散射和粗糙度关系不大。退火后薄膜的吸收和微缺陷密度都明显降低，损伤阈值得到提高。退火后的薄膜损伤阈值仍然低于溅射得到的薄膜损伤阈值是因为退火并不能降低膜内的杂质含量，因此选用高纯度的蒸发膜料和减少电子束蒸发过程中的污染有可能进一步提高薄膜的损伤阈值。

关键词：薄膜 激光损伤阈值 吸收 退火 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800 中国科学院研究生院 北京100039