摘要：采用德国Lambda公司LPX300I型KrF激光器，脉冲激光输出波长为248nm，重复频率为5Hz，能量为400mJ，在倾斜5°的LaAlO3单晶衬底表面制备了La0.3（CaSr）0.5MnO3（LCSMO）和La0.99Ca0.1MnO3（LCMO）两种稀土氧化物薄膜。使用波长为248nm的LPX300I型KrF准分子激光进行照射，重复频率为1Hz，能量为300mJ，对LCSMO和LCMO薄膜表面产生的激光感生电压（LIV）信号进行采集。对信号响应的波形特征进行分析和讨论，实验得出LIV信号半峰全宽与数据采集卡临界采样率成反比例关系。临界采样率的选择为新型快响应、宽光谱激光功率／能量器件设计和制作提供依据。

关键词：薄膜 激光感生电压 稀土氧化物 脉冲激光沉积 临界采样率 

单位：昆明理工大学光电子新材料研究所 云南昆明650051 楚雄师范学院电子信息科学与技术系 云南楚雄675000