摘要：采用有氧热处理、激光预处理和离子后处理三种方式对电子束蒸发（EBE）制备的单层ZrO2薄膜进行了后处理，并分别对样品的光学性能和抗激光损伤阈值（LIDT）特性进行了研究。实验结果表明，热处理方式可以有效排除膜层内吸附的水气，弥补薄膜制备过程中的氧损失，使得光谱短移、吸收减小、损伤阈值增高；激光预处理过程可以在一定程度上减少缺陷、提高损伤阈值，但对膜层的光谱和吸收情况没有明显的改善作用；而离子后处理能够提高膜层的堆积密度、减少缺陷、降低吸收从而提高损伤阈值。由于三种方式处理机制不同，在实际应用中应根据膜层的性能选择合适的处理方式。

关键词：薄膜 氧化锆 抗激光损伤阈值 退火 激光预处理 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800