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超短脉冲激光烧蚀金属薄膜材料的热效应分析

王德飞 于继平 郭春凤 齐文宗 中国激光 2008年第10期

摘要:基于双曲双温丽步热传导模型,利用具有人工粘性和自适应步长的有限差分算法,埘超短脉冲激光辐照金膜时的温度场进行了一维数值模拟计算。讨论了不同能量密度和脉冲宽度条件下金膜表面温度场的分布情况;分析了电子晶格耦合系数对薄膜体内温度场的变化规律及电子-晶格耦合至热平衡所需时间的影响。结果表明,激光脉冲的能量密度和脉冲宽度对电子温度的峰值有重大影响;电子-晶格的耦合系数决定了二者的温升速率和耦合时间;电子温度及电子温度的梯度在接近表面区域迅速达到最大值,与之相应的热电子崩力是造成金属薄膜早期力学损伤的主要原因。

关键词:激光技术超短脉冲激光金属薄膜热效应分析双曲双温模型

单位:四川大学电子信息学院 四川成都610064

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