摘要：对脉冲CO2激光损伤K9玻璃进行了实验与仿真研究。采用输出脉宽为10μs的脉冲CO2激光器对K9玻璃样品进行激光损伤实验，并且建立了脉冲CO2激光损伤K9玻璃的理论模型，利用有限元法对K9玻璃样品中的温度和应力分布进行数值分析。研究表明，K9玻璃的损伤阈值为6．533J／cm^2；入射激光能量密度越高，样品的损伤程度就越大，并且多脉冲对样品的损伤程度明显大于单脉冲；在激光能量较强的情况下，K9玻璃表面在光斑区域内形成熔融损伤和由压缩应力造成的应力损伤，在光斑区域则形成由环向拉伸应力造成的应力损伤，仿真分析结果与实验结果吻合良好。

关键词：激光技术 激光损伤阈值 损伤 脉冲co2激光 k9玻璃 

单位：电子工程学院脉冲功率激光技术国家重点实验室 安徽合肥230037 中国人民解放军61251部队 河北秦皇岛066102