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基于准分子激光加工技术的内嵌光纤型微流控器件的制备

金永龙 张宇 顾宁 中国激光 2008年第11期

摘要:为了方便、快速、低成本地检测样品,提出一种内嵌光纤型微流控芯片的制备方法。利用248nm的KrF准分子激光在聚甲基丙烯酸甲酯(PMMA)基片上进行微加工,构建芯片结构,并嵌入腐蚀过的直径35μm的单模光纤,从而形成内嵌光纤型芯片。探讨了准分子激光加工参数以及嵌入光纤的方法。结果表明,用准分子激光加工芯片,可控性好、简便可靠、加工过程可实现无人化。内嵌光纤实现了光纤的相互对准以及光纤对流道中央的对准,可以灵敏地获取样品的光学信号。

关键词:激光技术准分子激光微加工微流控芯片光纤聚甲基丙烯酸甲酯

单位:东南大学生物电子学国家重点实验室 江苏省生物材料与器件重点实验室 江苏南京210096

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