摘要：设计了一种基于多模干涉（MMI）耦合输入／输出结构的跑道型双微环串联谐振滤波器，并采用紫外光敏聚合物材料SU-8作波导芯层，聚合物CYTOP为下包层，在硅基底上完成了器件的制备。器件的波导端面尺寸为2um×1um，与设计值相符，扫描电镜显示所制备的器件波导侧壁陡直度较高。直波导传输损耗的测试结果表明，在1550nm波长，直波导传输损耗约为2．0dB／cm。测试并获得了多模干涉结构和器件的通光及输出光谱图。测试结果表明，MMI结构在较宽的波长范围内实现了接近50：50的功分比，微环谐振滤波器的通光性能良好，实现了滤波功能，器件的自由光谱区FSR实际值约为0.94nm，与设计参数值很接近。研究结果表明采用聚合物SU-8制备小波导尺寸微环谐振器的器件简便可行。

关键词：集成光学 微环谐振滤波器 紫外光刻 

单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 吉林长春130033 中国科学院研究生院 北京100039 吉林大学电子科学与工程学院集成光电子国家重点联合实验室 吉林长春130023