摘要：用能量为2．0MeV剂量为2×10^16ion／cm^2He^＋离子搴温下注入到z切的氧化锌晶体中形成光波导。退火前后用棱镜耦合法在633nm激光波长下测量波导的暗模特性，发现在空气中经过适当退火后暗模消失，说明品格损伤减少，进一步的退火处理有可能使品格损伤完全恢复。用TRIM’2003程序模拟了2．0MeVHe。离子注入到氧化锌晶体的过程．得到氧化锌损伤分布与穿透深度的关系曲线，并利用反射计算法重构了离子注入波导的折射率分布，发现在波导区折射率增加，在离子射程的末端有一个折射率降低的光学位垒，结果还显示折射率分布曲线与损伤分布曲线非常相似，这充分说明核碰撞所造成的晶格损伤是形成光波导的主要原因。

关键词：导波光学 光波导 折射率分布 离子注入 氧化锌 

单位：山东大学信息科学与工程学院 山东济南250100 山东大学物理学院 山东济南250100