摘要：为了实现在光纤环衰荡腔(FLRD)系统中的微量气体液体传感,提出了利用飞秒激光微纳加工的方法加工微流体传感装置.利用800 nm的飞秒激光脉冲在普通980 nm,1550 nm的单模光纤上实现了直写光学微腔,微腔的宽度达到4 um,深度80 um.将在单模光纤刻蚀的光学微腔成功应用于光纤环衰荡腔系统之中.针对光纤环衰荡腔的系统装置,分析了该系统的探测原理,并对该系统应用于微流体吸收探测中所探测的衰荡时间、损耗及待测流体浓度的关系进行理论推导.利用此系统,实现了对微量流体浓度的吸收谱高灵敏度探测.

关键词：传感器 光学微腔 飞秒激光 光纤环衰荡腔光谱 

单位：南开大学现代光学研究所 光电信息技术教育部重点实验室 天津 300071 南开大学现代光学研究所 光电信息技术教育部重点实验室 天津 300071 南开大学现代光学研究所 光电信息技术教育部重点实验室 天津 300071 南开大学现代光学研究所 光电信息技术教育部重点实验室 天津 300071 南开大学现代光学研究所 光电信息技术教育部重点实验室 天津 300071 南开大学现代光学研究所 光电信息技术教育部重点实验室 天津 300071 南开大学现代光学研究所 光电信息技术教育部重点实验室 天津 300071