摘要：建立了一种适用于多量子阱垂直腔面发射激光器（VCSEL）的多层速率方程模型。在理论与实验基础上，对器件进行小信号分析，得到了光子密度、载流子俘获、逃逸和隧穿时间等关键参数对VCSEL频率响应特性的影响。结果表明VCSEL调制带宽会随着输出功率增大而变宽。并进一步研究了内腔接触氧化限制型VCSEL的寄生电参数及其寄生电路，对其小信号频率响应进行了模拟分析。

关键词：垂直腔面发射激光器 调制特性 速率方程 寄生参数 

单位：北京工业大学北京市光电子技术实验室 北京100124