摘要：雅满横向剪切干涉仪是一种很重要的波面检测仪器，特别是可以对白光的波面进行检测。为了弥补传统雅满横向剪切干涉仪的不足，提出了一种相移雅满横向剪切干涉仪。它是在雅满横向剪切干涉光路中插入起偏器，1／4波片和检偏器所形成，实现了剪切干涉与相移的结合，能有效地提高测量精度，可适用于白光的波面检测，结构简单且操作方便。实验中通过旋转检偏器获得了相移干涉图，其结果很好地验证了该相移雅满横向剪切干涉仪的有效性。

关键词：光学器件 横向剪切干涉仪 相移 波面检测 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800