摘要：利用800nm的飞秒激光在普通单模光纤上一次成型地制作一个微矩形槽作为法布里-珀罗（Fabry—Perot，F-P）干涉腔，然而，制作的F-P干涉腔端面粗糙、倾斜，使得该传感器只有～5dB的对比度，为后续的信号处理带来了一定的困难，且在一定程度上降低了测量的准确性与可靠性。通过选择最佳的加工参数、改善加工环境和改进加工方法，制作出了平整度好、端面平行的F-P干涉腔，其对比度达到了～18dB。此外，该F-P干涉传感器的全光纤结构使其能耐800℃的高温，为其在恶劣环境下工作提供了应用潜力。

关键词：传感器 光纤光学 光纤传感器 飞秒激光加工 

单位：重庆大学光电技术及系统教育部重点实验室 重庆400044 成都电子科技大学宽带光纤传输与通信系统技术教育部重点实验室 四川成都610054