摘要：介绍了一种名为滴定HF吸收法的新方法，即利用电激励单谱线HF激光器的（0～1）振转谱线，检测滴定产物HF分子的吸收强度变化，得到滴定气体（氢气）流量与F原子流量对应关系的方法。用此方法分别测量了在不同NF3流量、不同探测谱线时，一台电激励HF／DF化学激光器正常工作时的F原子流量，发现低转动态谱线的吸收更为强烈，1个NF3分子解离出1．0～1．1个F原子。分析了透射率与HF分子浓度及温度的关系，对影响测量精度的原因进行了分析并提出相应对策。实验结果显示滴定HF吸收法是一种简单实用的F原子流量检测方法。

关键词：化学激光器 f原子流量 滴定hf吸收法 单谱线hf激光器 电激励 

单位：国防科学技术大学光电科学与工程学院 湖南长沙410073