摘要：综述了现有的3类激光光束质量评价方法，即近场质量、远场质量和传输质量。主要的评价参数包括近场调制度和对比度、聚焦光斑尺寸、远场发散角、衍射极限倍数β因子、斯特列尔比、环围能量比以及M^2因子等。讨论了它们各自的适用范围、优点和局限性。提出了采用M^2因子矩阵以表述光束的像散特性，给出了M^2因子的不变量。

关键词：激光技术 光束质量 

单位：四川大学电子信息学院 四川成都610064 华北光电技术研究所 北京100015