摘要：采用输出功率10 W的355 nm紫外激光器对4层柔性线路板（FPC）进行了盲孔加工实验。分析了紫外激光与铜箔和聚酰亚胺（PI）相互作用的过程和机理,并模拟出在一定条件下紫外激光与聚酰亚胺和铜箔相互作用时的单脉冲刻蚀深度。研究了不同加工方式对加工质量的影响,得到优化工艺参数为：第一次采用加工功率3.9 W,频率80 kHz,第二次将加工功率降到1.4 W,其他参数不变,此时加工盲孔的效果最为理想,重铸层粗糙度为0.88966 μm,孔底粗糙度为1.063 μm。给出了孔底表面的扫描电镜（SEM）图和针式台阶仪测量的盲孔底面三维轮廓及切面二维轮廓图。

关键词：激光技术 激光钻孔 355 nm紫外激光 柔性线路板 

单位：华中科技大学武汉光电国家实验室 湖北武汉430074