摘要：在高功率激光系统中,大口径连续相位板（CPP）元件是用来进行光束整形的关键衍射光学器件,由于其毫米量级的空间周期、大相位梯度的波前特征,大口径干涉仪无法满足检测需求。提出采用小口径高分辨率干涉仪结合子孔径拼接实现相位板元件透射/反射波前的检测,采用了误差均化的拼接方法,设计了针对圆形孔径的数据融合新算法,研制了子孔径拼接检测装置,实现了一块330 mm×330 mm的连续相位板元件透射波前的检测。实验结果表明,针对其毫米量级的周期,最大可检测到的波前梯度接近3μm/cm,检测重复性精度优于6 nm[均方根（RMS）],波前数据模拟焦斑计算结果与高功率激光系统中的远场焦斑特性检测结果获得了较好的一致性。

关键词：测量 大相位梯度波前检测 子孔径拼接 连续相位板 

单位：成都精密光学工程研究中心 四川成都610041 上海大学机电工程与自动化学院 上海200072