摘要：光镊作为操纵微小物体的有力工具,通常用来捕获微小物体并控制其运动。利用光镊激光焦点处高度集中的热能量以及光镊的搬运作用,可以精确控制溶液中析出晶体的形状及控制沉淀反应中沉淀颗粒的排列方式,以此可作为制作微型器件的一种手段。分别采用激光诱导快速结晶法和激光辅助沉淀法,制作了以硫酸铜和碳酸钙为基质材料的微型器件。研究了影响晶体析出速度的不同因素,探讨了适于辅助沉淀法生长器件的沉淀反应的类型。相比之下,结晶法生长器件效率高,而沉淀法制作的器件稳定性高。所建立的实验装置和方法拓宽了光镊的应用领域,提供了精细制作微型器件的一种新方法。

关键词：光学制造 微型器件 光镊 结晶 沉淀 

单位：中国科学院西安光学精密机械研究所瞬态光学与光子技术国家重点实验室 陕西西安710119 中国科学院研究生院 北京100049