摘要：低相干光干涉法通过测量宽谱光通过待测器件之后的相位变化得到其相对延时量。采集宽谱光时域干涉数据，利用傅里叶变换提取出频域相位信息后再进行相位展开、多项式拟合处理，所得相位曲线对频率求导可得待测延时曲线。延时测量误差来源于干涉信号强度误差和纯相位误差。理论分析和仿真计算表明，延时误差与相位误差成正比；强度噪声引起的相位误差与噪声强度成正比，且该类噪声可通过曲线拟合算法得到有效抑制。实验表明，温度等环境因素引起的纯相位误差是延时测量误差的主要因素。实验上，对约19m光子晶体光纤于1540～1560nm波段的相对延时进行了测量，达到了0．14ps的精度。

关键词：测量 低相干光干涉 延时误差 傅里叶变换 多项式拟合 

单位：清华大学电子工程系信息技术国家实验室 集成光电子学国家重点实验室 北京100084