摘要：利用聚合物SU-8光刻胶在激光作用下折射率会发生变化的特点,将其作为最后的光学材料,采用光刻胶热熔法和图形转移法,设计并制作了填充因子接近0.75、自写入光波导、六角排列的微透镜阵列。对阵列的表面形态、三维结构和光学性能分别进行了观察、测试与分析,发现用SU-8胶制作的微透镜阵列外观良好,边缘清晰;自写入光波导微透镜阵列的三维结构良好;波导末梢的光点分布均匀,光强一致性高。这种自写入光波导的微透镜阵列降低了透镜阵列与探测阵列精确装配的难度,而且其制作工艺流程简单、成本低廉、适合批量复制,这种阵列元件还有质量轻、体积小的特点,有很广的应用前景。

关键词：光学器件 微光学元件 聚合物微透镜阵列 光刻胶热熔法 自写入 

单位：南京航空航天大学自动化学院 江苏南京210016 华中科技大学光电子科学与工程学院武汉光电国家实验室 湖北武汉430074 南昌航空大学测试与光电工程学院 江西南昌330063