摘要：为了获得在液晶修复技术中所需要的光束质量好、能量分布比较均匀的矩形光束,提出了一种新的光束整形系统。在这个系统中,通过对光阑后不同位置衍射效应的理论分析和计算,获得相应的衍射光斑图样,再利用4f像传递系统对理想的光斑图样进行提取和传递,经过扩束聚焦之后,用于加工样品,并设计了相应的实验装置来验证这种系统的可行性。研究结果表明,过光阑后不同位置的衍射面呈现出复杂的衍射图样,等效距离在56.0-58.5 mm之间能够选取到平化效果非常好的衍射面,4f成像系统对其实现了较好的像传递,整形光束顶部的能量波动量小于5%,能量提取率达到80%。

关键词：激光光学 基模高斯光束 光束整形 矩形光阑 4f成像系统 

单位：中国科学院光电研究院 北京100080 中国科学院研究生院 北京100049 北京国科世纪激光技术有限公司 北京100085