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ZnO温度传感器光谱监测系统的设计

叶必卿 汪飞 隋成华 鄢波 石文渊 中国激光 2011年第07期

摘要:为解决ZnO温度传感器测温精度和集成化的问题,设计了一套测量光谱范围为350~450 nm,分辨率为0.1 nm的光谱监测系统。通过合理地选择光学系统的结构、计算各光学元件的参数和光路结构以及消除系统像差,实现了光谱监测系统的窄波段、高分辨率的要求。最终结果显示系统的体积为111 mm×83 mm×30 mm,基本满足系统可集成化的要求,可以做进一步的优化,公差分析使之满足加工需求。

关键词:光学设计温度传感器球差彗差

单位:浙江工业大学之江学院 浙江杭州310024 浙江工业大学理学院 浙江杭州310023

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