摘要:研制了斐索式红外干涉仪,口径为φ120mm,配置F/1,F/4标准球面锗透镜,用于检测红外非球面透镜的非球面面形和波像差质量。干涉仪中采用两个红外探测器分别形成对点、测试两路成像光路,并配合光栅尺,实时监测标准镜和被测件的方位,解决了红外光不可见性带来的测试中装夹调整的困难。采用在线标定的方法,实现了大伸长量移相器的标定。使用干涉仪检测了红外非球面透镜的质量,并标定了系统误差。检测结果表明,干涉仪的测量精度均方根(RMS)值优于0.01A,测量重复性RMS优于0.002λ。
关键词:测量 红外干涉仪 双视场 非球面 光栅尺
单位:南京理工大学电子工程与光电技术学院 江苏南京210094
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