摘要：采用脉冲激光沉积（PLD）法在不同氧分压下于LaAlO3（100）基片上成功制备了SrTiO3（STO）薄膜。通过测试，表征了薄膜的微观结构、表面形貌和光学特性。研究表明，对于利用PLD法制备STO薄膜，氧分压是重要的工艺参数。随着氧分压的降低，薄膜的结晶性变好，并发生由立方晶系到四方晶系的形变；氧分压升高，薄膜晶粒尺寸变大、数目变少，薄膜的厚度减小。薄膜在4002500nm的可见光和红外波段呈现较低的光学吸收。在5，10和15Pa氧压下制备的STO薄膜的能隙宽度分别约为3．84，4．13和4．05eV。这为STO薄膜进一步的制备与分析提供了良好的实验数据支持。

关键词：薄膜 钛酸锶薄膜 脉冲激光沉积 微观结构 光学特性 

单位：北京工业大学应用数理学院 北京100124