摘要：采用红外石英作为基底材料，利用SiO2／ZrO2膜系制备2100nm波段钬激光器0°高反膜。提出一套完整的优化工艺，解决了薄膜的材料（膜料和基底）本身的水吸收，克服了薄膜表面光洁底差、散射吸收损耗大、容易破裂等问题，镀制出的薄膜在激光使用波长透射率小于0．1%，粗糙度小于1nm，并且具有长期稳定性好，可靠性高等特点。

关键词：薄膜 钬激光器 高反膜 优化 

单位：中国科学院上海光学精密机械研究所 上海201800