摘要：在SF6气氛中使用飞秒激光对单晶硅表面进行辐照，制造了尖峰状的微结构表面，随后在该表面上通过磁控溅射了一层掺铝氧化锌（AZO）薄膜。考察了样品镀膜前后的表面微结构和光学吸收性能。结果表明，表面尖峰尺寸和间隙会受到激光能量密度的影响，光在这些尖峰中的多次反射是微构造硅在200～1000nm波段具有良好光学吸收性能的主要原因。镀膜后，粗糙表面对入射光的散射和AZO薄膜的增透作用增强了样品在可见光区域（400800nm）的光学吸收性能，AZO薄膜对红外光的高反射导致样品反射峰的红移。

关键词：薄膜 微构造硅 磁控溅射 光学吸收 

单位：江苏大学江苏省光子制造科学技术中心重点实验室 江苏镇江212013 江苏大学机械工程学院 江苏镇江212013 江苏大学材料科学与工程学院 江苏镇江212013