摘要：在高功率激光系统中,大口径元件的中频波前影响系统的安全运行,中频波前均方根（PSD1）是用来评价中频波前质量的关键参数。由于大口径干涉仪在系统传递函数（STF）上不能完全满足中频波前的检测要求,提出采用小口径高分辨率干涉仪检测的统计分析方法,建立了统计理论模型,分析了测量不确定度。建立了子区域PSD1检测装置,提出了子区域倾斜补偿法,提高了检测精度。理论及实验结果表明针对400mm×400mm分析区域,子区域数量设置为4×4,置信水平为95.4%时,测量不确定度为±0.266nm。该方法与大口径干涉仪检测法的对比实验表明,400mm×400mm分析区域内检测结果偏差小于5%。子区域统计分析法是对大口径干涉仪检测法的有益补充,对先进光学制造工艺的优化具有重要的参考价值。

关键词：测量 波前检测 统计方法 大口径平板 中频波前均方根 

单位：成都精密光学工程研究中心 四川成都610041 浙江师范大学信息光学研究所 浙江金华321004