摘要：为了提高双光纤点衍射干涉仪的检测精度,需要对干涉仪装置中两个波前参考源（WRS）的系统误差进行标定。设计了波前参考源的标定过程及标定算法,通过沿被检光学系统光轴四次旋转90°求出波前参考源的沿轴旋转非对称误差,沿倾斜轴四次旋转90°求出波前参考源的沿倾斜轴旋转非对称误差,然后利用两者之差采用最小二乘法求出波前参考源的旋转对称误差,将对称误差和非对称误差相累加求出波前参考源的系统误差。采用计算机模拟了标定算法的整个流程,当波前参考源沿光轴和倾斜轴旋转的旋转公差在±1°范围内时,采用36项泽尼克多项式进行标定的测试误差均方根值小于0.01nm,在标定精度允许的范围内。通过模拟验证了标定算法的正确性并给出波前参考源的旋转公差范围。

关键词：测量 标定算法 波前参考源 相移点衍射干涉仪 

单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所应用光学国家重点实验室 吉林长春130033 中国科学院研究生院 北京100049