摘要：利用组合套镀法布里-珀罗结构光学薄膜滤光片间隔层的方法，选取锗和一氧化硅分别作为高低折射率膜层材料，在短波红外区域2．0～2．4μm光谱范围内，设计并制备了8通道集成窄带滤光片，单个光谱通道的有效通光区域的宽度为450μm，其间有30μm的挡光过渡带。各通道的峰值光谱透射率大于65％，滤光片的半峰全宽为8～13nm，相对带宽在0．33％～0．65％之间。

关键词：薄膜 光学薄膜 集成滤光片 间隔层 组合套镀 

单位：中国科学院上海技术物理研究所 上海200083