摘要：为提高面形检测的复现性，研制了一套检测支撑装置，配合高重复性干涉仪实现高复现性的面形检测，对该装置的复现性效果进行了仿真计算和实验验证。利用ANSYS软件仿真分析确定了各向干扰力对面形的影响，同时推导确定不同支撑方案所能实现的复现性。仿真分析结果表明，检测支撑方案最高能够实现均方根（RMS）误差优于30pm的面形复现性结果。确定了最终检测支撑装置的结构形式，并在高重复性干涉仪上进行了面形复现性测试，测试结果表明，由检测支撑装置引起的面形复现性指标RMS优于70pm，满足RMS为0．1nm的复现性设计指标要求。

关键词：测量 极紫外光刻 高重复性干涉仪 有限元分析 检测支撑 

单位：中国科学院长春光学精密机械与物理研究所 吉林长春130033