摘要：在空间光通信中，光学系统起着非常重要的作用，光学薄膜技术已成为制作光学元件的关键技术。对532、808、1064、1550nm激光工作的4个波段，选择Ti3O5和SiO2作为高低折射率材料，借助于膜系设计软件，采用电子束蒸发和离子辅助沉积的方法设计并制备了激光滤光膜。镀膜后的基片在808nm处的透射率大于90％，532、1064、1550nm处的反射率均大于99％。重点解决了808nm透射区半波孔的问题，通过对基片进行清洁、减少薄膜的吸收和进行真空退火等方法提高了膜层的激光损伤阈值。经过性能测试和评估，满足系统的要求。

关键词：薄膜 激光滤光膜 离子辅助沉积 激光损伤阈值 空间光通信 

单位：长春理工大学光电工程学院 吉林长春130022 中国白城兵器试验中心 吉林白城137001